我国首次建立纳米级角度国家一级标准物质
纳米制造，国首国测量先行。次建研制高精度的立纳纳米级标准物质，是米级AG超玩会打造高准确度纳米测量传递链，提升国产纳米制造产品质量可靠性的角度级标关键。记者获悉，准物质近日，国首国国家市场监督管理总局新批准二维铬纳米栅格标准物质、次建二维硅纳米栅格标准物质、立纳一维硅纳米光栅标准物质3项国家一级标准物质，米级能够同时满足纳米制造产业角度和长度校准需求，角度级标j9为新一代信息技术、准物质新材料、国首国生物制造、次建高端装备等领域的立纳纳米制造提供精准“标尺”。
标准物质研制单位同济大学相关专家介绍，AG超玩会入口二维铬纳米栅格标准物质突破性地采用分步沉积原子光刻技术，制备难度较大，可直接溯源到自然界量子化物理常数（铬原子跃迁频率），角度绝对准确性在0.001°量级，相当于把一个蛋糕按扇形均分成三十六万份。二维铬纳米栅格的结构面积一般为300μm×300μm，在没有划伤或破坏的状况下，每次使用2μm×2μm，不重复使用测量区域次数可达20000次以上。可应用于晶圆级原子力显微镜、扫描电子显微镜等集成电路微纳检测设备校准，也可应用于对超精密位移传感器多种参数的光栅干涉法校准。
据悉，纳米级角度标准物质的研制成功，实现了纳米测量领域的扁平化计量，避免传统逐级量值传递方式造成的误差累积放大，能够通过在线校准直接将高精度计量数据直接传递到企业计量现场，为我国纳米制造产业高质量发展提供有力支撑。
下一步，市场监管总局将持续强化纳米测量领域标准物质研制应用，进一步解决纳米制造“测不了、测不全、测不准”问题，为筑牢新兴产业和未来产业技术基础提供支撑保障。
南方网、粤学习记者 李婷
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